“创源”科技学术论坛MEMS薄膜材料力学参量的测试技术与表征方法
讲座名称：
“创源”科技学术论坛MEMS薄膜材料力学参量的测试技术与表征方法
讲座时间：
2007-11-20
讲座人：
周向阳
形式：
校区：
兴庆校区
实践学分：
讲座内容：
介绍了薄膜材料及其力学性能测试对微型电子机械系统（MEMS）发展的重要性。对当前薄膜力学参量的主要测试技术、表征方法进行分析和对比，在此基础上介绍了研究热点。
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